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      SPIN勻膠機POLOS

      簡要描述:SPIN勻膠機POLOS450(英文名:Spin Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜
      詳細介紹:勻膠機(英文名:Spin Coater& Spin Processor)
      行業俗稱:勻膠臺、勻膠機、旋涂儀、涂膠機、鍍膜機、甩膠機

      • 產品型號:POLOS450
      • 廠商性質:代理商
      • 更新時間:2023-11-12
      • 訪  問  量:2702

      詳細介紹

      1、  SPIN勻膠機POLOS450勻膠機工作原理:

      勻膠機(spin coater)的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。

      2、SPIN勻膠機POLOS勻膠機型號及技術參數如下:

      型號

      SPIN150i

      SPIN200i

      POLOS300

      POLOS450

      POLOS600

      基片范圍

      直徑160mm or 4?方片

      直徑260mm or 6?方片

      直徑360mm or 8?方片

      直徑460mm or 350mm方片

      直徑600mm or 430mm方片

      程序段數

      無限制

      無限制

      無限制

      無限制

      30個程序

      操作步數

      無限制

      無限制

      無限制

      無限制

      90個步驟

      旋轉速度

      0-12,000 rpm ±1rpm steps

      0-12,000 rpm ±1rpm steps

      0-12,000 rpm ±1rpm steps

      0-1500rpm ±1rpm steps

      0-1,500 rpm ±1rpm steps

      旋轉精度

      ±0.1 rpm

      ±0.1 rpm

      ±0.1 rpm

      ±0.1 rpm

      ±0.1 rpm

      旋轉方向

      順時針、逆時針、交換擺

      順時針、逆時針、交換擺

      順時針、逆時針、交換擺

      順時針、逆時針、交換擺

      順時針、逆時針

      加速度

      30,000 rpm/sec

      30,000 rpm/sec

      30,000 rpm/sec

      1500rpm時取決于負載

      500 rpm/sec

      旋轉時間

      無限制*,± 0.1 seconds steps

      無限制*,± 0.1 seconds steps

      無限制*,± 0.1 seconds steps

      無限制*,± 0.1 seconds steps

      1 to 999 sec/step

      腔體直徑

      202 mm

      302 mm

      402 mm

      502 mm

      642mm

      外形尺寸

      (w*h*d )

      274 x 250 x 451 mm

      380 x 307 x 559mm

      430 x 310 x 650mm

      795 x 638 x 922mm

      800 x 1,450 x 1,650mm

      觸屏控制

      全彩觸屏控制

      全彩觸屏控制

      全彩觸屏控制

      全彩觸屏控制

      全彩觸屏控制

      設備重量

      14Kg

      20Kg

      32Kg

      75Kg

       

      電源參數

      220V,50/60 Hz

      220V,50/60 Hz

      220V,50/60 Hz

      220V,50/60 Hz

      220V,50/60 Hz

      三、勻膠機的特點:

      1、該勻膠機采用德國先進技術:
      2、勻膠機采用NPP天然聚丙烯材質構造設計,這種材質有很好的抗腐蝕性和抗化學物性,美觀大方;
      3、勻膠機真空Chuck經精密加工制成,具有良好的光潔度及平整度,保證晶圓片被很好地吸附,主軸采用進口微型單列向心球軸承支撐,軸向有彈性墊及調整墊,可保障主軸具有較高的精度。
      4、在安裝結構上,采取了減振措施,保證了在運轉時噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調節轉速調節涂覆厚度。
      5、勻膠機腔體配備吹氮(N2)功能,或壓縮空氣、氮氣壓力可通過調壓閥和節流閥實現調節,與配套真空泵一同使用。

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