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      當前位置:首頁   >  產品中心  >  濕法刻蝕顯影清洗系統  >  顯影機  >  UNIXX S 30 D顯影機

      顯影機

      簡要描述:UNIXX S 30 D 顯影機是應用于顯影工藝的設備,適用的基板尺寸為2英寸到12英寸的
      圓片和最大到9英寸x9英寸的方片。新設計的三片式可拆卸工藝腔體可實現良好的工藝
      均勻性和重復性,設備也可用于清洗和旋干工藝。
      UNIXX S 30 D的落地式柜體經專門設計,方便操作和維修。它是一款手動顯影機,適
      用于實驗室開展科學研究和技術開發。設備具有多選項(例如可編程流體輸送臂)并且
      可以升級成自動化

      • 產品型號:UNIXX S 30 D
      • 廠商性質:代理商
      • 更新時間:2023-11-13
      • 訪  問  量:502

      詳細介紹

      特點 

      可處理基板尺寸最大9"x 9" (230 x 230mm) 方片或 ? 12" (? 300mm)圓片 

      采用真空或微接觸夾具針對圓形和方形基板 

      不同尺寸的圓片/方形片的夾具可容易更換 

      真空安全聯鎖功能 

      觸摸屏輸入顯示 啟動、停止及真空操作按鈕 

      可編程速度和加速度 馬達轉速最大可達8000/分鐘    

      易拆卸雙片腔體本體和防濺環 

      網絡接口 

      USB接口 

      選項 

      ? 電子流體輸送手臂--移動速度和位置可編程 

      ? 液體噴嘴 噴霧型,射流型 

      ? 熱流體線,最高80°C 

      ? 真空或微接觸夾具 不同尺寸

      ? 可拆卸工藝腔體及防濺環 

      ? 熱板 

      ? 熱板接近式烘烤, 手動可調接近距離 ? 可編程接近距離熱板

      ? 真空泵 

      ? 附加HMDS熱板 

      性能參數 

      觸摸屏程序輸入 

      ? 程序數: 100 

      ? 程序步數: 50 

      ? 最長單步時間: 999

      ? 單步時間分辨率: 0.1秒 

      旋轉馬達 

      ? 旋轉速度: 最高 8.000 /分鐘

      ? 轉速分辨率: 1/分鐘 

      ? 旋轉精度: ± 2 /分鐘 

      ? 加速度: 最高 50,000 /分鐘/* *和基片重量有關 

      熱板 

      ?溫度范圍: 最高 300°C

      ?溫度分辨率: 0.1°C 

      ? 溫度均勻性( 100°C ) : < ± 0.5°C 動力需求 

      ?電源: 3x208 VAC / 60 Hz / 16 A or 3x400VAC / 50 Hz / 16 A 

      ? 壓縮空氣: 8 ± 2 bar (116 ± 29 PSI), Tube OD ?8mm 

      ? 真空: -0.8 bar ± 0.2 bar / 24 in Hg, Tube OD ?8mm 

      ? N氮氣 (選項): 4,0 ± 0,5 bar (58 ± 7 PSI), Tube OD ?6mm

      設備外形(x x )

      ?落地式柜體: 1200mm x 650mm x 1320mm (23.6"x 25.6"x 52") 

      ?帶水平調節 

      ?不銹鋼框架

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