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      • UV-KUB 3UV-LED 的緊湊型掩膜對準系統

        UV-KUB 3 是一種基于掩膜對準系統的 UV-LED,具有 365nm 的可用光源。 這是一個非常緊湊的桌面系統,兼容 4 英寸晶圓和 100x100 mm² 工作表面。 由于特定的光學裝置可提供最大發散角小于 2° 的準直光束,因此可實現的最小特征尺寸為 2 µm。

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        產品價格:面議
        廠商性質:代理商
        更新日期:2023-11-13
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